通过一整套熟悉的除尘处理，周硕三个人总算是进入了ito光刻机工作的无尘室。这里由于只是实验性质，无尘室设计的并不大。只是一个大概百来平的小实验室而已。

但即使如此，仍然还是看的王中阳赞叹连连。

“这就是1k级的无尘室？”王中阳穿着防尘服，有些好奇的上下打量着。

京东方这两年虽然境况好转，从破产的边缘爬了回来。但要说真的手里有多少余钱，却也不可能有泛翰集团这么财大气粗。

王中阳在组建液晶预研小组的时候，也曾经打算过要上一个1k级的无尘室。可是经过几次询价，他的这个念头就被打消掉了。

1k级的无尘室用的设备国内目前还提供不了，全套建设、施工和设备以及耗材都要从国外进口。建筑成本，一平米就要10万人民币。如果要建设一个100平米的实验室，光建设成本就超过了1000万人民币的造价，这还没算上实验设备。想建的小一点，单位成本就要剧增，因为100平米用的空调系统已经是最小的了。实验室规模再小，反而更加不经济。

不仅建设成本贵，建起来还不算完。这样一个实验室的维护成本，一个月还要10万人民币。

里外里算了半天帐，王中阳最终也没下了这个决心。

“王总这边请。”周硕安静的灯王中阳参观过了无尘室，然后站到了实验室的中央。这里有一个大概三米长、两米宽的设备，看起来应该是中科院微电子研究中心出品的0.8微米工艺光刻机。

只不过如今这台光刻机很多地方，已经显得和它原始的样子有些面目全非了。

最明显的地方，应该是它的工作台。原来用于光刻200mm单晶硅晶圆的工作台，现在已经被加大了数倍面积。由此带动的传动、对准等子系统的改进，可以说和重新设计一套光刻机系统也没什么区别了。

这还要多亏了尼康无私提供的光刻机成套设计资料，很多地方泛翰集团都参照尼康的技术对这台光刻机进行了改造。

而它之前复杂的棱镜系统也进行了精简，由于采用了接触式沉浸光刻技术，生产芯片用的复杂激光系统被极大的精简，但仍然保持了0.8微米的工艺水准。

造液晶面板不可能像芯片一样复杂，液晶显示器的光刻面积远超制造芯片的晶圆，如果让液晶显示器高的和同等面积的cpu一样，这恐怕就没人能买得起了。

王中阳虽然不懂光刻机，但没吃过猪肉总见过猪跑。凭借松下合资方的优势，他可是废了老大的劲儿才去过一次松下的液晶生产厂。虽然那不是一次愉快的参观记忆，但还是让他对ito光刻机有了一个初步的认识。

和他记忆中松下的生产设备比起来，单看卖相泛翰集团这台设备也不输给他们了。和土鳖产品的传统不同，这台经过改造的0.8微米光刻机性能如何不说，单看造型和涂装就有晃瞎人眼的效果。

王中阳几乎是贪婪的看着这台光刻机，和当初看到日本人光刻机时候的心情完全不同。这次他的心里不再是压抑和惴惴不安，而是充满了骄傲和自豪！

光刻机！光刻机！光刻机！

多少人的命运，将会因为你而改变。多少人的梦想，将凭借你去实现。多少神奇的技术，有了你才有成功的希望！

而且，这是我们中国人的光刻机！你可以把脸贴在监视窗口上，甚至是用放大镜去观察它的机械结构。不会有人命令你退后到五米距离以外，不会有人在进入和离开的时候对你搜身，同样也不会有人对你的提问缄口沉默……

“哈哈哈哈，好，好哇！”王中阳笑道：“有了这个，我们要让日本人也知道，中国人一样能够掌握核心技术，一样可以生产出液晶面板来！”

“王总。”周硕走上前来，拍着王中阳的肩膀，轻轻笑道：“日本人早晚会知道，今天他对咱们带搭不理，明天咱们就让他高攀不起！”

“对，我们要让日本人对咱们高攀不起！”王中阳的双目在这一刻，迸发出耀眼的光芒。r1152

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